螺桿真空泵憑借無油污染、低振動、高可靠性及免維護等優勢,廣泛應用于半導體、光伏、醫藥凍干及精細化工等對潔凈度和真空穩定性要求高的領域。然而,若安裝不當,易引發振動超標、密封泄漏、電機過載甚至轉子卡死等故障。科學規范的安裝
螺桿真空泵,是保障其長期高效運行的關鍵。

一、安裝前準備
選址合規:安裝區域應通風良好、干燥無塵,遠離腐蝕性氣體、高溫熱源及強電磁干擾;
基礎穩固:泵體需安裝在水平、剛性混凝土基座上(不建議直接置于鋼結構平臺),基礎平面度誤差≤2mm/m2;
預留空間:四周留出≥50cm操作與散熱空間,頂部預留吊裝或檢修間隙;
核對設備:檢查泵體、電機轉向標識、進出口法蘭規格是否與工藝圖紙一致。
二、機械安裝關鍵步驟
吊裝就位:使用專用吊環(嚴禁吊掛電機或管口),緩慢落位至基礎中心;
調平找正:用高精度水平儀在泵體加工面測量,通過墊鐵調整,確保縱向與橫向水平度≤0.1mm/m;
緊固地腳螺栓:采用對角交叉方式分三次擰緊,防止殼體變形;
管路連接:
進氣口加裝過濾器或緩沖罐,防止顆粒物進入;
排氣口管道獨立引出室外,避免背壓過高(通常要求背壓<0.2bar);
所有法蘭連接使用耐溫密封墊(如金屬纏繞墊),禁用石棉材料。
三、電氣與控制系統接線
電源匹配:確認電壓、頻率(如380V/50Hz)與電機銘牌一致,三相相序正確(可通過點動測試轉向);
可靠接地:泵體與電機外殼必須用≥6mm2黃綠雙色線接入廠區接地網(接地電阻≤4Ω);
控制信號接入:若配PLC啟停或遠程監控,按接線圖連接干接點或4-20mA信號線,做好屏蔽防干擾。
四、安裝后檢查與試運行
手動盤車2-3圈,確認轉子無卡滯、異響;
啟動前關閉進氣閥,空載運行5分鐘,觀察電流、振動及溫升;
緩慢開啟進氣閥,逐步加載至工作壓力,監測極限真空度是否達標(如≤5Pa);
記錄運行參數,納入設備檔案。